離子減薄儀

離子減薄用于TEM樣品的制備，適用于多種材料，對(duì)樣品導(dǎo)電性沒有要求。它的基本原理是利用離子束轟擊樣品，使之穿孔，從而制得中間薄、周圍厚的TEM樣品。